Cu掺杂氧化锌薄膜的发光特性研究

摘要：

通过射频反应溅射法在Si(111)衬底上制备了不同Cu掺杂量的ZnO薄膜.室温下测量了样品的光致发光(PL)谱,所有样品的PL谱中均观察到435 nm左右的蓝光发光带,该发光带的强度与Cu掺杂量和溅射功率有关.当溅射功率为150 W,Cu掺杂量为2.5%时,ZnO薄膜的PL谱中出现了较强的蓝光双峰,而溅射功率为100W,Cu掺杂量为1.5%时,出现了位于437 nm(2.84 eV)处较强的蓝光峰,后者的取向性较好.还研究了掺杂量和溅射功率对发光特性的影响,并对样品的蓝光发光机制进行了探讨.

关键词：ZnO薄膜、Cu掺杂、光致发光谱、射频反应共溅射

所属期刊栏目：53

分类号：O4(物理学)

资助基金：甘肃省自然科学基金ZS011-A25-050-C

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2705-2709