碰撞对非对称射频鞘层特性的影响

摘要：

对于大多数活性射频等离子体刻蚀工艺,由于放电室中两个电极的面积不等,使得两个电极附近的等离子体鞘层是非对称性的.考虑离子与中性粒子的碰撞效应,建立了一种描述这种非对称射频鞘层动力学特性的自洽动力学模型.数值结果显示碰撞效应对极板上的瞬时电压降、瞬时电子鞘层厚度、鞘层内的离子密度和动能的空间分布以及两个极板上电压之差等物理量的影响.

关键词：射频鞘层、非对称电极、碰撞效应、离子

所属期刊栏目：53

分类号：O53(等离子体物理学)

资助基金：国家自然科学基金19975008;教育部跨世纪优秀人才培养计划

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2661-2665