10.3321/j.issn:1000-3290.2004.07.050
氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp2杂化碳原子的存在形态
用化学气相沉积方法制备了金刚石薄膜.在制备过程中,通过间歇式关闭甲烷气体,强化了氢对sp2杂化碳原子的刻蚀.用拉曼光谱和金相显微镜对薄膜进行了分析表征.结果表明,氢对sp2杂化碳原子的强化刻蚀并未影响金刚石薄膜的品质和微观结构.这一结论说明,在金刚石薄膜中,sp2杂化碳原子主要存在于金刚石晶粒表面和晶界碳原子之间,而不是以石墨或无定形碳颗粒为主要存在方式.
化学气相沉积、金刚石薄膜、拉曼光谱、强化刻蚀
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O4(物理学)
2004-09-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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