利用微波等离子体增强化学气相沉积法定向生长纳米碳管的研究

摘要：

利用微波等离子体增强化学气相沉积法在氢气和甲烷的混合气体中定向生长纳米碳管.经扫描电子显微镜观察与分析,发现纳米碳管在与基板垂直的方向上整齐排列,管径较均匀且长度基本相同.

关键词：微波等离子体、纳米碳管

所属期刊栏目：53

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金60271009;浙江省自然科学基金501109

在线出版日期：2004-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：888-890