微波输入功率引起a-C∶F薄膜交联结构的增强

摘要：

使用C2H2和CHF3的混合气体,在改变微波功率的条件下,利用微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积方法制备了氟化非晶碳薄膜(a-C∶F).薄膜的傅里叶变换红外光谱分析结果表明:薄膜中的CC与C-F键含量的比值随功率的增加而相应地增大;借助于紫外可见光谱分析发现,薄膜的光学带隙随功率的增大而减小.由此推断微波输入功率的提高有助于增强薄膜的交联结构.a-C∶F薄膜的交流电导与x射线光电子能谱进一步证实了这种增强效应.

关键词：氟化非晶碳薄膜、傅里叶变换红外光谱、x射线光电子能谱

所属期刊栏目：51

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金10175048

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2635-2639