碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

摘要：

考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型,并利用Monte-Carlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布.数值结果表明:随着放电气压增加,入射到电极上离子的能量分布逐渐地由双峰分布变成单峰分布,而且低能离子的数目也逐渐地增加. 入射到电极上的离子呈小角分布,而且放电气压等参数对角度分布的影响不是太明显.

关键词：射频放电、等离子体、离子、鞘层

所属期刊栏目：51

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金19975008,19835030;教育部跨世纪优秀人才培养计划;高等院校骨干教师基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1332-1337