10.3321/j.issn:1000-3290.2002.05.040
溶胶-凝胶法制备BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电增强效应
采用溶胶-凝胶法,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上逐层制备了BaTiO3/SrTiO3多层膜.从多层膜的XRD图可看出明显的双峰,分别对应为BaTiO3和SrTiO3的特征峰,表明样品已形成了多层膜结构.与同厚度的Ba0.5Sr0.5TiO3单层膜比较,BaTiO3/SrTiO3多层膜的介电系数得到了明显的增强,在频率为10kHz时,周期为66nm的BaTiO3/SrTiO3多层膜相对于同厚度的Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜的介电系数从245增强到595,而损耗依然保持较低,分别为0.029和0.033.研究同时表明,BaTiO3/SrTiO3多层膜与单层膜的介电频率色散程度、C-V特性和介电系数与温度的关系均略有不同.
溶胶-凝胶法、多层膜、介电增强
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O4(物理学)
江苏省青年科技人才基金BQ98037
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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1139-1143