10.3321/j.issn:1000-3290.2002.03.040
等离子体增强反应蒸发沉积的氟掺杂氧化铟薄膜的性质
采用直流辉光CF4/O2等离子体增强反应蒸发方法沉积了氟掺杂氧化铟透明导电薄膜,经过真空退火处理薄膜的电阻率达到1.8×10-3Ω·cm,透光率高于80%.研究了掺氟量和退火温度对薄膜电阻率和透光率的影响,结果表明:氟的掺入增加了载流子浓度,使得薄膜的电阻率明显下降,而薄膜的透光率变差,但是可以通过真空退火处理使其得到显著的改善,掺氟量越大需要的退火温度越高.X射线衍射分析说明,氟的掺入使薄膜的无序度增加;退火处理提高了薄膜的结晶状况,改善了薄膜的透光性能,同时也没有增加薄膜的电阻率.
透明导电薄膜、氟掺杂、等离子体增强反应蒸发沉积
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O4(物理学)
国家自然科学基金10175048
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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668-673