Monte Carlo方法研究低能电子束曝光沉积能分布规律

摘要：

建立一个描述低能电子在多元多层介质中散射的物理模型,运用Monte Carlo方法模拟低能电子在靶体胶衬底中的复杂散射过程,在此基础上通过大量计算研究入射束能、胶层厚度、衬底材料等不同曝光条件对抗蚀剂沉积能密度分布的影响,获得沉积能分布规律:适量的低束能、薄胶层、低原子序数衬底可以使前散射电子对胶中沉积能密度分布的贡献增大、背散射电子的贡献减小,从而提高曝光分辨率.

关键词：电子束曝光、Monte Carlo方法、低能电子散射、能量沉积

所属期刊栏目：51

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家科技攻关项目97-762-03-02;国家重点基础研究发展计划973计划G2000036504

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：512-518