Mo离子注入对金刚石涂层附着性能的影响

摘要：

采用Mo离子注入工艺对YG6硬质合金基体表面进行处理,用微波等离子体CVD(MPCVD)法沉积金刚石涂层,研究了Mo离子注入工艺对金刚石涂层附着性能的影响.结果表明,Mo离子注入后,硬质合金基体表面的化学成分发生了明显变化;采用适当剂量的Mo离子注入基体,可使CVD金刚石涂层的附着性能显著提高.

关键词：金刚石涂层、Mo离子注入、硬质合金基体、附着性能

所属期刊栏目：51

分类号：O4(物理学)

资助基金：河南省科技发展计划991110130

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：347-350