空心阴极直流放电的二维自洽模型描述和阴极溅射分析

摘要：

建立了空心阴极放电的二维自洽理论模型，理论研究了气压为50—120 Pa, 电压为150—300 V的范围内Ar空心阴极放电特性、粒子密度和电离速率空间分布，特别考察了影响阴极溅射分布有关因素：阴极面上的电场、离子流和离子密度的沿阴极截面的空间分布.研究结果不仅证实了在所讨论的范围内，空心阴极效应明显存在而且发现归一化电离速率的空间分布形状强烈依赖于气压.通过研究电场、离子流和离子密度的空间分布解释了空心阴极溅射型离子激光器中不均匀阴极溅射的现象来源于阴极面附近的电场、离子流和离子密度的不均匀分布.

关键词：空心阴极放电、自洽模型、气体激光、阴极溅射

所属期刊栏目：50

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：广东省自然科学基金980922

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1528-1533