10.3321/j.issn:1000-3290.2001.08.009
PtSi超薄膜厚度的一种检测方法研究
介绍了采用角分辨X-射线光电子解谱(angle resolved X\|ray photoelectric spectrum(ARXPS))测试薄膜不同角度光电子能谱强度,计算电子平均自由程,从而计算出PtSi超薄膜厚度的方法,并给出其透射电子显微镜(TEM)晶格象验证结果.实验表明该方法简单易行,适用于其他超薄膜厚度的测量
PtSi超薄膜、小角度X射线电子能谱、TEM晶格象
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O484(固体物理学)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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