KrF激光器空间非均匀抽运动力学模拟

摘要：

提出了模拟KrF激光器的三维动力学方法.该方法与以往的动力学方法的主要区别在于考虑了电子束抽运的空间非均匀性.即将电子束抽运速率作为空间各点（X,Y,Z）及时间（t）的函数.用三维模拟方法对96101702实验进行了计算.总的激光输出及镜面能量分布与实验符合相当好.解决了以往模型理论明显高于实验的问题.

关键词：KrF激光器、三维动力学模型、电子束抽运

所属期刊栏目：50

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：693-696