在Si(111)上用有机溶胶-凝胶甩膜热解法制备(0001)定向的6H-SiC薄膜

摘要：

在Si(111)衬底上用聚苯乙烯溶胶-凝胶甩膜并经950℃真空(10－3 Pa)热解处理法，制备出晶态SiC薄膜.用FTIR，XRD，TEM，Raman XPS等方法研究了SiC薄膜的晶体结构、微结构、组成以及各元素的化学态等性质.结果表明制得的是沿(0001)高度择优取向的晶态6H-SiC薄膜.膜中SiC晶粒沿c轴柱状生长，其最大尺寸约150 nm,膜厚约为0.3 μm,SiC中的Si/C比约为1.表层有少许污染C(CH和CO)和少量O(Si2O3,CO态氧和吸附氧).从对比实验可知，在热解时将甩膜的Si片与另一空白Si片面面相贴可明显增加SiC的生成量.

关键词：碳化硅、薄膜、溶胶凝胶

所属期刊栏目：50

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金59774012

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：256-261