10.3321/j.issn:1000-3290.2000.11.021
薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟
用Monte Carlo方法模拟了薄膜的二维生长.引入Morse作用势描述粒子间的相互作用情况,研究了相互作用范围α对薄膜生长初期形貌的影响.薄膜的生长经历了由临界核的形成、团的长大、形成迷津结构到连续成膜4个阶段.模拟结果表明,随着沉积粒子数的增加,成团粒子所占百分比下降.这与实际情况相符.
薄膜生长、Monte Carlo方法、Morse势
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O4(物理学)
中国科学院资助项目69876003;19874007;北京市自然科学基金2982013
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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