沉积温度对含氢非晶碳膜电学性质的影响

摘要：

用苯作为源气体,使用微波电子回旋共振(ECR)等离子体气相沉积法在不同温度下制备了含氢非晶碳薄膜,研究了沉积温度对薄膜的直流电阻率、击穿场强的影响,发现它们与沉积速率密切相关.测量了薄膜的含氢量与Raman谱,利用Angus等人提出的随机共价网络模型对结果作了分析.

关键词：非晶碳薄膜、ECR等离子体化学气相沉积、直流电阻

所属期刊栏目：49

分类号：O4(物理学)

资助基金：江苏省自然科学基金LL7723;江苏省教育厅自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2041-2046