用干涉方法研究超薄栅MOS系统中FN振荡电流

摘要：

采用干涉方法研究FN振荡电流,得到一个精确而且简单的测量栅介质层的厚度及隧穿电子在栅介质层导带中的有效质量的表达式.通过和求解三角势垒的薛定谔方程得到的结果比较验证了干涉方法的可行性.干涉方法揭示电子在隧穿过程中体现了波的本性,这种方法的一个重要特征是它对不同形状的势垒和势阱可能均适用.还分析了有关FN振荡电流的实验现象,并给出了相应的物理解释.

机标关键词：方法研究、超薄栅、系统、振荡电流、INTERFERENCE METHOD、MOS STRUCTURE、干涉方法、栅介质层、薛定谔方程、有效质量、物理解释、隧穿过程、实验现象、电子、比较验证、三角势、表达式、形状、特征、求解

所属期刊栏目：49

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：974-982