电子回旋共振等离子体源的数值模拟

摘要：

采用自洽微波功率吸收的二维混合模型,对电子回旋共振等离子体源中的各种物理参量(电离速率、等离子体密度、位势、电子温度)进行数值模拟.结果表明:等离子体参数随运行条件(中性气压和微波功率)变化呈现出区域特征、饱和现象和振荡行为等非线性现象.

机标关键词：电子回旋共振、等离子体源、数值模拟、PLASMA SOURCE、微波功率、等离子体密度、振荡行为、运行条件、线性现象、物理参量、混合模型、功率吸收、电子温度、电离速率、饱和现象、域特征、位势、气压、二维、参数

所属期刊栏目：49

分类号：O4(物理学)

资助基金：中国科学院资助项目69493500;19805008;中国博士后科学基金9-1998

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：497-501