10.3321/j.issn:1000-3290.1999.07.019
ECR-PECVD制备Si3N4薄膜沉积工艺的研究
薄膜
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
1309-1314
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薄膜
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
1309-1314
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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