MOS场效应晶体管虚拟仿真实验教学资源建设

摘要：

为了解决大多数高校微电子专业实验教学面临的难题,建设了M OS场效应晶体管虚拟仿真实验教学资源 .引入半导体器件的虚拟制造和虚拟测试理念,基于半导体工艺仿真软件和器件模拟软件进行二次开发,包含教学管理、虚拟制造和虚拟测试3大部分,共17个模块,实现了M OS场效应晶体管的各种制造工艺流程和直流、交流、瞬态等各种性能测试 .虚拟仿真实验教学资源知识点覆盖面广,理念先进,辐射范围广,具有较好的学习效果,为微电子专业人才培养提供了优质的实验教学资源 .

关键词：M OS场效应晶体管、虚拟仿真、虚拟制造、虚拟测试、微电子、教学管理

所属期刊栏目：40

分类号：O4-39;G642.423

资助基金：江苏省在线开放虚拟仿真实验教学项目;电子科学与技术国家级实验教学示范中心项目

在线出版日期：2020-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：35-40