利用多频干涉法测量石英片的厚度

摘要：

以多频干涉原理为基础,借助Y型光纤、卤素灯、光栅光谱仪等实验器材,搭建了微米量级的测厚仪,通过测量石英片上下表面反射光的干涉光谱图,经过离散傅里叶分析得到2块待测石英片样品的厚度为(48.7±0.7)μm和(8.9±2)μm,其值与迈克耳孙干涉法测量得到结果一致,并给出其理论上的测量范围.该测厚仪具有方便、可原位测量的优点.

关键词：多频干涉、厚度测量、离散傅里叶、光谱、石英片

所属期刊栏目：38

分类号：O435.1(光学)

在线出版日期：2018-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：51-53,57