利用迈克耳孙干涉仪检测薄膜玻璃厚度一致性

摘要：

提出了利用迈克耳孙干涉仪快速检测薄膜玻璃厚度一致性的方法,即只在干涉仪的单一光路同时插入2片材料相同的薄膜玻璃片,对比白光通过两薄膜玻璃片产生的干涉图样,判断其厚度是否一致.对相差较大的玻璃片进一步测出厚度差值,并与螺旋测微器测得的结果进行比较,验证了该方法的可行性.

关键词：迈克耳孙干涉仪、薄膜玻璃、厚度差值、白光干涉、螺旋测微器

所属期刊栏目：37

分类号：O436.1(光学)

在线出版日期：2017-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：21-25