开展磁控溅射镀膜探索研究性实验课程的尝试

摘要：

磁控溅射镀膜实验涵盖了理工科大学生所认知的真空、高电压、材料制备等知识.结合大连理工大学国家级物理实验教学示范中心在探索研究性实验方面积累的教学经验与方法、等离子体物理国家重点学科的知识储备以及三束材料改性教育部重点实验室自主开发、手动操作的磁控溅射镀膜设备的优势,尝试将磁控溅射镀膜用于大学探索研究性实验教学.介绍了开展此实验所需的知识构成与设备模块,阐述了实验的设计思想与方法、开展实验的前期准备、课堂组织、注意事项,分析了课程实施的主要困难,并给出了解决方案.

关键词：探索研究性实验、镀膜技术、磁控溅射

所属期刊栏目：37

分类号：G642.423;O484.1;O539(高等教育)

资助基金：国家自然科学基金青年基金项目11405022;大连市高层次人才创新支持计划项目2016RQ020;辽宁省高等教育教学改革研究项目;大连理工大学教改基金项目ZHD201503;教育部教指委教改项目01-201601-26

在线出版日期：2017-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：34-38