超声强化 FeCl 3溶液蚀刻覆铜板的研究

摘要：

为了提高FeCl3溶液蚀刻覆铜板制作印制电路板的效率，采用超声强化FeCl3溶液蚀刻覆铜板，研究了蚀刻时间、蚀刻液浓度、温度、超声电功率和超声频率对覆铜板蚀刻速率的影响，并且与静态蚀刻对比。结果表明：超声强化FeCl3溶液蚀刻覆铜板的蚀刻速率随蚀刻时间的延长持续下降，蚀刻速率下降逐渐减缓；10 min内的平均蚀刻速率随浓度的提高而增大，随蚀刻液温度的升高而增大，随超声电功率的增加先增加后减少（在超声电功率为80 W时达到最大），随超声频率的增加有降低的趋势。超声强化蚀刻和静态蚀刻的对比结果可以说明：超声波在FeCl3溶液蚀刻覆铜板中可以起到良好的强化作用。

关键词：超声、FeCl3 溶液、蚀刻、覆铜板、蚀刻速率

分类号：TG172.6;TB559(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金资助．31071560

在线出版日期：2015-12-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

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