残余气体质谱仪的进样输运及其对定量分析的影响

摘要：

使用Q M S‐200残余气体质谱分析仪，分别以空气、空气／氩气混合气体为样品，研究了质谱仪的进样输运效应。利用空气／氩气混合气体作为标准样品，进行了质谱峰强对浓度的标定，获得了分析仪对残余空气定量分析的标定关系。研究发现：由于输运过程，注入样品由于不同成分的输运速率、排空速率不同，样品不同成分在质谱仪内的量与其原始物质的量有所不同。

关键词：残余气体分析仪、输运效应、质谱峰强

分类号：O657.63(分析化学)

资助基金：国家自然科学基金资助No ．11375041，10675028；中国科学院化学激光重点实验室开放基金资助．20131008

在线出版日期：2015-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：12-17