衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响

摘要：

利用射频磁控溅射在石英基片上沉积掺铝氧化锌薄膜，研究了衬底温度对薄膜结构和光电性能的影响．当给衬底加热时，X射线衍射观测（002）峰相对强度明显增强．在衬底温度250℃下制备的薄膜的晶粒尺寸最大，为24．9 nm ，表面粗糙度最小，为8．1 nm ，表明在衬底温度250℃下制备的薄膜的结晶效果最好．衬底温度从30℃升高到250℃，薄膜的电阻率相应地从14．35×10-4Ω· cm降低到7．18×10-4Ω· cm ，随着衬底温度的升高，电阻率反而增大．所有样品在可见光区的平均光学透射率都大于85％．引入品质因子分析薄膜的光电性能，当衬底温度为250℃时，品质因子最大为16．15×10-3Ω-1，其光电性能最好．

关键词：掺铝氧化锌薄膜、衬底温度、电阻率、透射率

分类号：TN3;TB3

在线出版日期：2014-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

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