10.3969/j.issn.1005-4642.2012.12.001
利用真空变温电阻测试仪研究VO2薄膜的电阻特性
利用磁控溅射技术在普通玻璃基片上制备了VO2薄膜,晶体结构和表面形貌分析表明制备的样品主要具有VO2相,结晶情况良好.利用自制真空变温薄膜电阻测试仪器测试了VO2薄膜的电阻率随温度变化曲线,观察到钒氧化物的电阻突变和热滞现象.
磁控溅射、VO2薄膜、电阻率、温度
32
O484.4(固体物理学)
中央高校基本科研业务费专项基金2009JBM098;北京市自然基金2113050
2013-02-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
1-4