微波椭偏法测量不透明材料的厚度

摘要：

在传统的激光椭偏法测量厚度的基础上,用微波取代激光测量了不透明材料的厚度.分析了偏转角及反射干扰产生的误差,并提出了修正方法.测量结果表明:该方法可以比较精确地测量铝板和塑料板的厚度;由于散射的影响,表面磨砂的有机玻璃板的厚度测量误差很大.

关键词：厚度、不透明材料、椭圆偏振法、微波

所属期刊栏目：31

分类号：O435(光学)

在线出版日期：2011-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10