热处理方式对ZAO薄膜结构以及电学性质的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶旋转涂敷方法在普通玻璃衬底上生长ZAO薄膜.每涂敷1层薄膜,都要在一定的温度下对薄膜进行1次热处理,连续涂敷7层,最后再对部分薄膜在600℃的马弗炉中退火2h.采用X射线衍射和薄膜电阻率分别来表征涂敷薄膜的结构特征和电学特性.实验结果表明:每次涂敷薄膜后所设定温度的大小以及最后是否再对薄膜进行退火处理直接影响着制备薄膜的结构特征和电学性质.

关键词：ZAO薄膜、溶胶-凝胶、后退火、X射线衍射

所属期刊栏目：28

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：山东省自然科学基金Y2002A04

在线出版日期：2008-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：12-17