10.3969/j.issn.1005-4642.2008.04.014
X射线透射法测量膜厚
薄膜厚度不仅与薄膜的电导率有关,而且与薄膜的光学性能甚至表面结构密切相关. 薄膜厚度的测量精确有助于研究薄膜的物理性能. 本文利用X射线在材料中传播的特征设计了大学物理实验室测量薄膜厚度的方法.
膜厚、X射线、透射
28
O484.5(固体物理学)
国家基础科学人才培养基金J0630319
2008-06-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
44-46
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10.3969/j.issn.1005-4642.2008.04.014
膜厚、X射线、透射
28
O484.5(固体物理学)
国家基础科学人才培养基金J0630319
2008-06-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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