纳米TiO2薄膜的结构及光催化特性

摘要：

利用磁控溅射方法在单晶硅和石英衬底表面沉积TiO2薄膜. 通过调节实验参量,制备出不同结构的TiO2薄膜. 通过X射线衍射、扫描电镜、拉曼光谱、吸收光谱等对样品进行表征,同时对不同结构的TiO2薄膜的光催化特性进行分析,发现具有网络状结构锐钛矿相的TiO2薄膜具有更高的光催化能力. 本文对不同薄膜的表面形貌和生长机理进行分析,并讨论TiO2结构和表面形貌对其光催化特性的影响.

关键词：磁控溅射、TiO2薄膜、光催化

所属期刊栏目：28

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：东北师范大学校科研和教改项目20060202

在线出版日期：2008-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：9-15