叠栅条纹和CCD用于位移和角度的测量

摘要：

将叠栅条纹测量技术和CCD器件结合应用于角度和位移的智能测量系统,该系统利用光栅的衍射自成像现象产生虚拟光栅,与另一光栅形成叠栅条纹,并用CCD光电转换系统,测量叠栅条纹的距离,可得到两光栅间的夹角. 当任意一片光栅沿垂直于栅线方向移动时,通过数出移过叠栅条纹数目,即可得到相应光栅移动的位移. 本文还分析和讨论了误差来源及给实验带来的影响.

关键词：泰伯效应、叠栅条纹、位移测量、角度测量、CCD

所属期刊栏目：27

分类号：O436.1;TN386.5(光学)

在线出版日期：2007-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：3-6