磁控溅射Al膜的AFM性能分析及其制备工艺研究

摘要：

用原子力显微镜(AFM)对直流溅射和射频溅射制备铝膜的表面粗糙度及颗粒大小进行了分析比较.实验结果表明:溅射功率和溅射时间对铝膜表面粗糙度有影响,通过延长溅射时间或提高溅射功率可使膜的平均颗粒直径增大.

关键词：铝膜、表面粗糙度、溅射功率、溅射时间、AFM

所属期刊栏目：27

分类号：O484(固体物理学)

在线出版日期：2007-10-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-46