基于等色干涉的膜分析
基于膜等色干涉原理,将等色干涉条纹与已知线光谱在光谱仪谱面上叠加,通过对干涉条纹宽度及其变化的测量,可计算出膜厚、膜厚突变、膜厚渐变等.对膜进行扫描分析,膜的面积达10-2 mm2数量级即可进行测量.
薄膜、厚度、等色干涉、光谱仪器
26
O436.1;TN247(光学)
2006-08-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
31-33
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薄膜、厚度、等色干涉、光谱仪器
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O436.1;TN247(光学)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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