10.3969/j.issn.1005-4642.2006.02.003
紫外可见吸收光谱仪与椭偏测厚仪联用测量透明光电子薄膜的厚度
采用椭偏测厚仪测量薄膜的折射率,用来修正紫外可见吸收光谱仪极值法测量膜厚的数据.通过制备掺铝氧化锌(ZAO)薄膜及SEM断口观察进行实验验证,证实该修正方法有助于提高膜厚测量精度.联用这2种常规仪器,可以方便地获得0~20μm宽范围的透明光电子薄膜的厚度,数据采集与处理简单快捷,可满足大部分薄膜工艺研究和生产的需要.
厚度测量、透明光电子薄膜、吸收光谱仪、椭偏测厚仪
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O484.4(固体物理学)
广东省广州市科技计划200323-D2011
2006-03-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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