用非水二甲基溶液作电解液电沉积ZnO纳米晶薄膜

摘要：

用含ZnCl2的二甲基亚砜溶液做电解液可在Si衬底上电化学沉积纳米晶薄膜.薄膜的粒径尺寸为8.9nm,样品的光致发光谱以紫外发射峰为主.分析表明用本文介绍的方法可以制备高质量的不含-OH的ZnO纳米晶薄膜.

关键词：ZnO纳米晶薄膜、二甲基亚砜、紫外光致发光

所属期刊栏目：22

分类号：TN304.25(半导体技术)

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：18-20