10.3969/j.issn.1005-4642.2001.12.003
两类无油超高真空系统的实验方法
对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍,并对它们相关的特性进行了讨论.
涡轮分子泵、溅射离子泵、无油超高真空系统
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G4(教育)
2004-09-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
13-15
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涡轮分子泵、溅射离子泵、无油超高真空系统
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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