大面积范德瓦尔斯异质结阵列
近年来,二维(2D)半导体材料在现代电子和光电子学中展示出巨大的潜在应用,迅速成为凝聚态物理、晶体生长等科学领域以及半导体工业界的研究热点.与传统的硅基和Ⅲ-Ⅴ半导体相比,2D材料因其无悬空键的表面结构,原子薄的厚度和免疫短沟道效应等特性而被视为后摩尔时代半导体材料的领跑者1-4.开发基于2D材料的晶体管和集成电路是延续摩尔定律并实现下一代高速,低功耗数字电子产品的关键之一.要实现2D材料在工业应用中的集成化和功能化,大规模的异质结阵列化是一种非常可行的方案.然而,迄今为止,大多数2D范德瓦尔斯异质结构(vdWH)都是通过微机械剥离和再堆叠来制备的5-7.然而这种方法无法有效地提高制备的产量.如何大幅提高2DvdWH的产量、实现异质结阵列化是二维材料走向电子、光电子工业实际应用亟需克服的重大挑战.
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2020-12-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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