大气压射频等离子体化学气相沉积TiO2体系的发射光谱诊断

摘要：

开展了大气压射频(RF)等离子体化学气相沉积(PCVD)TiO2放电体系的发射光谱诊断研究,分别考察了氧气分压、钛酸四异丙酯(TTIP)分压和输入功率对氧原子谱线相对强度、氩原子激发温度、OH振动温度以及转动温度的影响.结果表明:随着氧气分压的增加,氧原子谱线相对强度先迅速增加至峰值后缓慢下降, OH振动温度缓慢增加,而氩原子激发温度和OH转动温度基本不变.随着TTIP分压的增加,氧原子谱线相对强度下降,氩原子激发温度没有明显变化,而OH振动温度和转动温度增加.随着输入功率的增加,氧原子谱线相对强度下降,氩原子激发温度、OH振动温度和转动温度升高.

关键词：大气压射频等离子体、介质阻挡放电、等离子体化学气相沉积、发射光谱诊断、TiO2

分类号：O644(物理化学（理论化学）、化学物理学)

在线出版日期：2013-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：625-630