硅表面复合自组装膜的制备及其摩擦性能

摘要：

采用自组装技术在单晶硅表面制备了3-氨基丙基三乙氧基硅烷(APTES)-SiO2-APTES复合膜,并对其表面的组成、结构及摩擦性能进行了表征.结果表明:复合膜表面对水的接触角约为63°,且表面平整、致密,其平均粗糙度(Ra)约为0.963 nm.通过原子力显微镜(AFM)和透射电子显微镜(TEM)观察到夹层中SiO2颗粒的粒径约为20-50 nm,较均匀地分布在第一层APTES膜的表面.与APTES自组装单层膜(SAMs)相比,APTES-SiO2-APTES复合膜由于纳米SiO2颗粒的引入而表现出更低的摩擦系数和更长的耐磨寿命.

关键词：单晶硅、自组装、复合膜、摩擦性能

所属期刊栏目：28

分类号：O647(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家重点基础研究发展计划项目9732007CB607605;中央高校基本科研业务费专项资金2011QNA06

在线出版日期：2012-06-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：917-922