柠檬酸盐体系铜电沉积及其在微机电系统中的应用

摘要：

研究并讨论了在新型柠檬酸盐体系铜电沉积工艺中电镀工艺参数对镀层形貌和颗粒尺寸的影响;利用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征了镀层的结构和组分存在状态;并将柠檬酸盐体系电沉积铜应用于微机电系统(MEMS)加工工艺.结果表明:在6 g·L-1 Cu2+,pH=7.0-8.5,1-2 A·dm-2,45℃,搅拌条件下可得到结晶细小,表面平整的致密铜镀层;镀层为面心立方多晶结构的单质铜,不含其他杂质.利用MEMS工艺成功制得平面电感,其有效的最大品质因数(Q)为12.75,达到了设计要求.

关键词：电沉积、柠檬酸盐、铜、镀层表征、平面电感、微机电系统

所属期刊栏目：26

分类号：O64.6;TQ153(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金20873114,20833005;国家重点基础研究发展规划项目9732009CB930703

在线出版日期：2010-12-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：2625-2632