多壁碳纳米管互连的单壁碳纳米管晶体管的频率特性

摘要：

用多壁碳纳米管(MWCNTs)作为互连线制备出了单壁碳纳米管场效应晶体管(SWCNT FETs),对比研究了用多壁碳纳米管作为互连线和用金属作为互连线的两种情况.结果表明,二者的直流(DC)性能基本一致,而用多壁碳纳米管作为互连线的交流(AC)性能略优于用金属作为互连的情况.交流测量表明,至少在20 MHz的频率下,多壁碳纳米管互连的单壁碳纳米管晶体管仍有很好的响应速率,器件能够正常工作.

关键词：多壁碳纳米管、互连线、单壁碳纳米管、场效应晶体管

所属期刊栏目：24

分类号：O649(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金60571002,10434010,90606026;科技部2006CB932401,2006CB932402,2006AA03Z350

在线出版日期：2009-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2122-2127