含氮磷酸锂薄膜在空气中的稳定性

摘要：

利用射频(RF)磁控溅射方法制备了含氮磷酸锂(LiPON)薄膜.采用SEM、XRD、XPS等技术以及交流阻抗法和电位线性扫描法,研究了空气湿度对LiPON薄膜形貌、组成和性能的影响.结果表明,LiPON薄膜在湿度为40%的空气环境中放置24 h后,将发生明显的水解反应,使LiPON薄膜表面形貌变得疏松、局部突起;PH3和NH3的产生,使薄膜中磷元素和氮元素含量减少,而Li2CO3的生成,则使薄膜中碳元素和氧元素含量有明显的增加.LiPON电解质薄膜形貌和组成的变化,造成了薄膜电化学性能的严重恶化.

关键词：LiPON薄膜、薄膜电解质、磁控溅射、全固态薄膜锂电池

所属期刊栏目：22

分类号：O6(化学)

资助基金：国家自然科学基金20203006

在线出版日期：2006-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1413-1418