扫描电镜和电子探针对比测试碲在镍合金中的分布

摘要：

在镍合金表面电镀碲薄膜,在不同温度下对样品进行不同时间的真空热处理,以研究碲元素在镍基合金中的扩散分布情况.使用扫描电镜(SEM)配置能谱仪(EDS)和电子探针(EPMA)分别测试某一热处理工艺条件的试验试样,印证了EPMA在元素较低含量方面测试的独特优势.最后从多方面总结对比了SEM配置EDS和波谱仪(WDS)附件与EPMA的不同特点,说明在微区观察方面,SEM具有较突出的优势,而在微区分析方面,EPMA具有不可替代的特点.

关键词：镍基合金、扩散分布、电子探针、扫描电镜、能谱仪、波谱仪

所属期刊栏目：36

在线出版日期：2018-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24