甲烷浓度对CVD多晶金刚石薄膜孪晶的影响
利用扫描电镜、X射线衍射和电子背散射衍射研究了CVD自支撑金刚石薄膜的表面形貌组织、织构和晶界分布.研究表明:金刚石薄膜制备气氛纯度较低,造成薄膜中存在较多孪晶.沉积气体中甲烷浓度升高,孪晶发生频率增加,孪晶对织构组分的影响程度增加.高频率孪晶使薄膜中{100}织构转变为{122}织构,但没有观察到明显的{511}和{411}孪晶织构,说明孪晶取向的变化具有一定的选择性.
金刚石薄膜、甲烷浓度、孪晶、织构、电子背散射衍射
32
河南省高校科技创新团队支持计划资助项目2012IRTSTHN008;河南科技大学博士科研启动基金09001233;河南科技大学SRTP资助项目2012036
2014-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
7-10
