离子注入TiN薄膜摩擦磨损性能的研究

摘要：

研究了Mo、Co、Nb等元素离子注入及薄膜沉积方法对TiN薄膜性能的影响.采用SRV磨损实验、表面形貌轮廓等方法研究分析了离子注入对TiN薄膜的摩擦系数、耐磨性能、显微硬度的影响规律.实验结果表明:磁过滤电弧镀的TiN薄膜的摩擦系数曲线与常规电弧镀TiN薄膜的摩擦系数曲线相差很大,且耐磨性能优于电弧镀TiN薄膜.采用离子注入町降低TiN薄膜的摩擦系数.在5N载荷磨损条件下,随注入剂最和注入元素的不同其摩擦系数变化较大.在30N载荷磨损条件下,样品摩擦系数均接近0.5.离子注入Mo、Co、Nb均可显著提高TiN薄膜的耐磨性,其巾注入Mo的试样耐磨性最好.

关键词：TiN、离子注入、摩擦、磨损

所属期刊栏目：28

分类号：TG115.5(金属学与热处理)

在线出版日期：2010-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23