两种ITO靶材的比较研究
针对一种进口和国产的ITO靶材,用AES(SEM、SAM)、XPS、UPS和XRD进行了比较研究,通过研究发现两种样品的差别,为提高国产靶材的质量,提供一些改进意见.
ITO靶材、AES、XPS、UPS、SEM、XRD
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TG113.2(金属学与热处理)
2009-04-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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ITO靶材、AES、XPS、UPS、SEM、XRD
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TG113.2(金属学与热处理)
2009-04-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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