CVD自支撑金刚石薄膜微观孪晶的EBSD研究

摘要：

利用电子背散射衍射、扫描电镜和X射线衍射技术研究了CVD自支撑金刚石薄膜的孪晶组织形貌、孪晶界和晶体取向差分布.研究表明,金刚石薄膜中存在一阶和二阶孪晶,不同的孪晶取向转变过程能形成不同的孪晶组织形貌,高频率的孪晶能对薄膜织构产生明显影响.

关键词：金刚石薄膜、孪晶、电子背散射衍射、取向差、织构

所属期刊栏目：26

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金50372007;河南科技大学博士科研基金

在线出版日期：2008-09-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5