光干涉在光学元件面形测量中的应用

摘要：

干涉计量技术由于能进行全场测量、非接触、精度和灵敏度高等特点在生产和研究中得到了广泛的应用.很多情况下,被测物理量和光学位相直接相关.本文从基本概念出发,介绍了光、光程、光程差和位相,对应用位相测量光学元件面形的原理做了详细的阐述,并简要列举了现在求取位相常用的方法:时间相移法、空间相移法、载波条纹的Fourier变换法和载波条纹的时域法.

关键词：光程差、位相、干涉、相移

所属期刊栏目：24

分类号：TB133(工程基础科学)

在线出版日期：2006-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38