电子叠层衍射成像技术的突破及应用

摘要：

像差校正透射电子显微镜是材料微观结构和物态高分辨率表征最常用的工具之一,极大地推动了相关学科的发展.近年来,电子显微学领域一个新的突破是电子叠层衍射成像技术.它突破了常规成像技术分辨率的极限,实现了原子晶格振动决定的终极分辨率,并且能够实现纳米尺度电磁物态的高精度成像.文章主要简述了电子叠层衍射成像技术的发展历程、原理和最新进展,最后讨论其应用前景和未来展望.

关键词：电子显微学、电子叠层衍射成像、微结构表征、磁织构成像

所属期刊栏目：52

分类号：TB383;TG115.21+5.3;P631.4

资助基金：科技部重点研发计划项目;国家自然科学基金;广东省基础与应用基础研究重大项目

在线出版日期：2023-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：335-343